在現代集成電路工藝技術中，薄膜起著主導作用，它在集成電路的所有通用工藝中都得到了*有成效和*重要的應用。在這些應用中，薄膜結構的一個必不可少的標準是能否保持結構的完整性。20世紀以來，薄膜技術無論是在學術上還是在商業應用中，都取得了豐碩的成果。在現今的集成電路中，薄膜的應用也變得越來越重要。

在科學技術發展日新月異的時代，大量具有不同功能的薄膜材料得到了廣泛的應用，薄膜作為一種重要的材料在材料科學領域占據著越來越重要的地位。近年來，隨著薄膜制造技術的飛速發展，各種材料的薄膜化已經成為一種材料應用的發展趨勢。薄膜材料種類繁多，應用廣泛，目前常見并得到應用的薄膜主要有:超導薄膜、導電薄膜、鐵電薄膜、電阻薄膜、半導體薄膜、介質薄膜、絕緣薄膜、鈍化膜、光電薄膜等。下面介紹幾種薄膜的主要應用。

(1)超導薄膜:超導薄膜(Superconducting Thin Film)是利用蒸發、噴涂等工藝方法沉積的厚度小于 1μm 的超導材料。以超導薄膜為基礎制作數字電路，比半導體材料制作的數字電路具有速度更快、損耗更小、容量更大的特點。由于超導薄膜沒有電阻，用它制成的天線、諧振器、濾波器、延遲線等微波通信器件具有常規材料(金、銀)等不可比擬的高靈敏度，從而成為未來電子對抗中各國軍方高度重視的一種材料。在制造超導體器件中，一個重要的目標就是找到納米尺度的超導材料，這樣的超薄超導材料在超導體晶體管及需要更高速度的電子學中，因為節能和超快的響應速度而發揮重要作用。超導技術具有廣闊的發展前景，同時，發展高溫超導技術是21世紀國際高技術競爭中，保持**優勢的關鍵所在。在電力、通信、國防和醫療方面的發展急需利用超導技術解決現有的關鍵問題。應用超導技術將帶來電力方面的重大變革。在國防工藝技術方面，由于超導技術不可替代的特殊性和優越性，將在超導電機、電磁**、傳感器導航用高精度超導陀螺儀等領域中廣泛應用，所以提高臨界轉變溫度、臨界電流密度和改良其加工性能和工藝技術，制造出理想的、更低價格的新一代超導材料，成為了超導薄膜發展的新趨勢。

(2)導電薄膜:導電薄膜是一種能實現特定電子功能的材料。這類薄膜分為半導電薄膜和導電薄膜。半導電薄膜只有半絕緣多晶硅薄膜。半導電薄膜主要有外延生長的硅單晶薄膜和 CVD 生長的摻雜多晶硅薄膜、半絕緣多晶硅薄膜。絕緣體薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等。金屬薄膜主要有 Al、Au、NiCr 等薄膜。另外，還有在半導體工藝中應用的光刻膠薄膜。透明的導電薄膜是一種既能導電又能在可見光范圍內具有高透明度的薄膜，主要有金屬膜系、氧化物膜系、其他化合物膜系、高分子膜系、復合膜系等。金屬膜系導電性能好，但是透明度差。半導體薄膜系列正好相反，導電性差，透明度高。當前應用和研究*為廣泛的是金屬膜系和氧化物膜系。透明導電薄膜主要用于光電器件的窗口材料，比較常見的透明導電薄膜為ITO(錫摻雜三氧化銦)、AZO鋁摻雜氧化鋅)等，它們的禁帶寬度大，只吸收紫外光，不吸收可見光而“透明”*近幾年來，國內外的研究者分別在低溫制備的設備、工藝、薄膜的表面改性、多層膜系的設計和制備工藝方面進行了廣泛而深入的研究。我國在低溫，尤其在常溫下制備 ITO 薄膜方面的研究還落后于國際上其他國家，與國外相比，制備方法比較單一，這一方面是由于我國在 ITO 薄膜的研究起步較晚，另一方面是受限于先進工藝設備的影響。ITO 導電薄膜可以廣泛地應用于液晶顯示器、太陽能電池及各種光學領域中。

(3)鐵電薄膜:鐵電薄膜是一種重要的功能性薄膜材料。具有鐵電性且厚度為幾十納米到幾微米的膜材料稱為鐵電薄膜。鐵電薄膜具有良好的鐵電性、壓電性、熱釋電性、電學及非線性光學等特性，鐵電薄膜可以廣泛應用于微電子學、光電子學、集成光學和微機電系統(MEMS)等領域，目前鐵電材料的研究也是國際上新型功能材料的研究熱點之一。鐵電薄膜的制備方法目前主要有 SOL-GEL 凝膠法、MOCVD 法、PLD 法和濺射法。鐵電薄膜主要應用于制造各種存儲器材、傳感器和換能器及光電器件。鐵電薄膜的應用前景廣闊。近年來，人們對鐵電薄膜的研究取得了可喜的進展，但鐵電薄膜要在實際應用中取得重大突破，還有非常多的研究工作需要去做。這些工作既包括鐵電薄膜的基礎性研究工作，也包括鐵電薄膜的應用基礎研究工作。鐵電性已經被發現了將近個世紀，關于鐵電性的研究也取得了很大的進展，但是與鐵電性及器件相關的新原理、新方法、新效應和新應用還有待進一步深入研究和開發。

(6)鈍化膜:一般來講，鈍化膜主要是指在金屬表面上形成金屬氧化物或鹽類，這些物質緊密地覆蓋在金屬表面上形成鈍化膜，一般可以采用電化學鈍化和化學鈍化，化學鈍化是利用強氧化劑對金屬直接作用而在金屬表面形成氧化膜。不論何種形式所形成的鈍化膜，其根本目的都是防腐。

(7)光電薄膜:光電薄膜的應用廣泛，主要包括光學膜片、光電顯示用膠帶等，光學膜片主要包括反射片、擴散片、棱鏡片等。光電薄膜器件是 LCD 面板不可或缺的重要組成部分。