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為什么面板玻璃要鍍ITO導電膜,導電玻璃都有哪些分類和特點?

日期:2025-09-18 11:56
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摘要:為什么面板玻璃要鍍ITO導電膜,ITO導電玻璃都有哪些分類和特點?

為什么面板玻璃要鍍ITO導電膜,ITO導電玻璃都有哪些分類和特點?


為什么面板玻璃要鍍ITO導電膜?

ITO導電膜,可以導電和透光,是“透明導電膜”的一種.在玻璃基板上鍍ITO導電膜后,好比如果玻璃用于“窗戶”,ITO膜通電后可以減少“窗戶”的霧氣;如果玻璃用于液晶顯示器的配件,ITO膜蝕刻成為電路,通電后可以控制液晶的偏轉(程度),我們就可以看到從液晶后面透過來的光,這些光就組成了圖像;由于液晶分子必須夾在兩電極之間,才便于控制其的偏轉,所以在液晶面板的兩面:TF面和CF面都要鍍ITO。

一、ITO導電玻璃

什么是ITO導電玻璃?

ITO(Indium Tin Oxide,氧化銦錫)導電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上,利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫(俗稱ITO)膜加工制作成的。在平板顯示產業中主要應用在觸摸屏和液晶面板領域。觸摸屏領域應用的是TP-ITO導電玻璃,而液晶面板領域應用的是LCD-ITO導電玻璃,兩者的主要區別在LCD-ITO導電玻璃還會在鍍ITO層之前,鍍上一層二氧化硅阻擋層,以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內液晶里擴散。優異LCD-ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進行拋光處理,以得到更均勻的顯示控制。LCD-ITO導電玻璃基板一般屬超浮法玻璃,所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。

ITO導電玻璃是一種既透明又導電的玻璃,它采用磁控濺射沉積成膜技術,以ITO材料作為濺射靶材,在玻璃基板上生成一層很薄的ITO膜。這層ITO膜同時具有良好的導電性和透光性,適于制作透明顯示電極,是平板顯示器生產的重要原材料之一。玻璃基板的厚度通常只有0.3~1.1mm,它具有重量輕、透明度高、平整度高、有一定的機械硬度、容易切割加工等特點,因此被廣泛應用于平板顯示器上。ITO導電玻璃隨著20世紀70年代初LCD顯示器的興起至今已經歷了40多年的歷程,并從過去只能生產高電阻、小尺寸、普通表面、黑白顯示的產品,發展到了現在能夠生產低電阻、大尺寸、拋光表面、彩色顯示的產品。

早期的ITO導電玻璃是采用銦錫合金作為濺射靶材,通過氧化反應而成膜的。此種靶材對濺射工藝控制有極其嚴格的要求,尤其是氧氣流量的稍許波動,就可能形成氧化反應不充分,而使膜層透過率和蝕刻性能變差;或因氧氣流量較大,而造成靶面"中毒",使濺射效率下降,從而使膜層變薄、電阻升高。鑒于此,材料商開發出了氧化靶,即將高純度的氧化銦和氧化錫超細粉末,按一定比例充分混合好,再采用粉末冶金工藝燒結成固體靶材。隨著制作工藝的不斷改進,ITO靶材密度逐步提高,現在已達到99.5%以上,基本滿足了ITO導電玻璃的需要。ITO導電玻璃的性能指標主要有基板玻璃的外形尺寸、表面電阻(或方塊電阻)、透光率、膜層厚度、蝕刻性能和可靠性等。

ITO導電玻璃按電阻分,分為高電阻玻璃(電阻在150~500歐姆)、普通玻璃(電阻在60~150歐姆)、低電阻玻璃(電阻小于60歐姆)。高電阻玻璃一般用于靜電防護、觸控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾;低電阻玻璃一般用于STN、TFT液晶顯示器和透明線路板。ITO導電玻璃按厚度分,有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規格,厚度在0.5mm以下的主要用于STN、TFT液晶顯示器產品。ITO導電玻璃按平整度分,分為拋光玻璃和普通玻璃。

二、TP-ITO導電玻璃

觸摸屏雖然不是顯示器件,但作為顯示器件輸入功能組件,其應用范圍越來越廣泛,發展迅速,已成為當今顯示器不可或缺的部件。隨著觸摸屏產業不斷地發展壯大,TP-LCD導電玻璃產業的發展也水漲船高。

目前,TP-ITO導電玻璃的國際生產廠商主要集中在電子產品較為發達的日本、韓國和我國臺灣地區,國內主要生產廠商為南玻A、蚌埠華益、康達克和萬德宏,以及眾多的TP-ITO導電玻璃廠商爭奪中低端市場。

當今移動終端市場發展很多,對觸摸屏需求也不斷提升。今年TP-ITO導電玻璃市場商機將進一步加大。未來,隨著觸摸屏與液晶面板產業的融合趨勢加快,相信TP-ITO導電玻璃在技術和優異市場方面將獲得突破性進展。

三、LCD-ITO導電玻璃

經過多年的發展,中國的LCD產業從無到有,從小到大,已經具有相當的規模。與LCD產業相關的LCD-ITO導電玻璃產業,也得到了長足的發展,其月產能已經突破了550萬片。加上國外的LCD-ITO導電玻璃進口量,國內的ITO導電玻璃已經達到每月700萬片。但國內企業所生產的LCD-ITO導電玻璃大多處于STN-LCD/CSTN-LCD用ITO導電玻璃的中低端,而在優異的TFT-LCD/OLED-ITO導電玻璃生產上處于劣勢。

1、STN-LCD用ITO導電玻璃

隨著LCD的發展,80年代中期開發出了STN-LCD,對ITO導電玻璃提出了更高的要求,主要是基板玻璃表面更加平整,表面電阻要低。因此基板玻璃在鍍制ITO膜層前增加了拋光工序,以降低玻璃表面的微觀波紋度,保證STN-LCD的盒厚均勻性。STN-LCD的顯示以點陣為主,其ITO線條很細,保證了其導電性,降低了ITO導電玻璃的電阻。此類顯示器主要用于早期的黑白顯示手機、電子辭典、游戲機、辦公設備、普通MP3、電子儀表等。

2、CSTN-LCD用ITO導電玻璃

彩色STN-LCD是90年代初發展起來的,通過在黑白STN-LCD中使用彩色ITO導電玻璃的方法,從而達到顯示彩色畫面的目的。CSTN-LCD用ITO導電玻璃,又稱為彩色濾光片(colorfilter,CF),它是先在基板玻璃上做出紅綠藍(RGB)三原**素圖形,然后在其上鍍制ITO膜層。通過相應的LCD制造工序,可以實現控制每個RGB色素的透光率的變化,合成出不同顏色的像素,從而實現彩色顯示。

CF與普通ITO導電玻璃有著兩方面根本的不同。**,結構不同。CF要采用涂布、光刻等圖形加工技術,將RGB三原色顏料預先制作在基板玻璃上。**,ITO膜制作工藝不同。普通ITO導電玻璃鍍膜時,玻璃溫度可高達約350℃,濺射電源采用DC(直流)方式。但由于RGB顏料為樹脂型材料,不能經受如此高的溫度,只能低溫鍍膜,玻璃溫度不得超過230℃。而為了保證較好的ITO膜特性,如表面電阻、膜厚、透光率、蝕刻性能等,CF上鍍制ITO膜層時,濺射電源通常采用RF+DC(射頻+直流)方式。

CSTN-LCD的構造與普通黑白STN-LCD的構造基本相同。簡單地講就是將黑白STN-LCD的一面透明ITO導電玻璃換成了彩色濾光片。其制作工序與普通黑白STN-LCD的制作工序相似,但在曝光對位、PI材料、液晶材料、SPACER材料、成盒、IC和良率等方面有著與普通黑白STN-LCD本質的不同,因此增加了工藝難度和提高了對材料性能的要求。

伴隨著來自TFT-LCD方面的強大競爭壓力,近年來CSTN-LCD也得到了快速的發展,生產技術日趨成熟。其產品的色彩再現性、響應速度和良率等方面均得到了大幅提升,而原材料成本和生產成本逐年下降。因此,CSTN-LCD產品仍然會有一定的市場份額,并將開拓出一些新的應用領域。目前CSTN-LCD產品主要用于彩屏手機、彩屏MP3、PDA、上等電器控制面板、數碼照相機等。

3、TFT-LCD用ITO導電玻璃

TFT-LCD的結構是,一面為TFT陣列玻璃,另一面為彩色濾光片。TFT-LCD用的彩色濾光片與通常的彩色濾光片相似,但又有著以下三方面的不同:**,基板玻璃材質不同,通常LCD用ITO導電玻璃的材質為鈉鈣玻璃,而TFT-LCD用ITO導電玻璃均使用無堿低膨脹系數的硼硅玻璃,以保證其較高的溫度穩定性;**,表面質量要求更高,由于在TFT-LCD結構中,彩色濾光片對應的是價格較高的TFT陣列玻璃,彩色濾光片的缺陷必然會造成TFT陣列玻璃的報廢,因此,對彩色濾光片每個單粒的表面質量要求很高,粒合格率幾乎接近100%;第三,ITO鍍膜工藝不同,因為TFT-LCD的顯示控制主要在于TFT陣列玻璃上,彩色濾光片上不需膜層鍍制時,采用掩膜鍍的方式,即在彩色濾光片上鍍制ITO膜層時用掩膜板遮擋,只在需要的區域鍍上ITO膜,從而省略TFT-LCD制作時的蝕刻工序。但此做法也存在一定的不利因素,如掩膜板的制造及其固定等問題。TFT-LCD液晶屏主要應用于優異顯示器上,主要有彩色液晶電視機、筆記本電腦、智能手機、平板電腦、數碼攝像機、數碼照相機等。目前TFT-LCD顯示器發展迅速,占平板顯示市場約80%的份額。

4、OLED-ITO導電玻璃

有機發光顯示器(英文簡稱OLED),是一種在電流驅動下,通過載流子注入和復合,復合后形成激子,由激子輻射衰減而發光的顯示器件。它具有自主發光、視角寬、輕薄、便于攜帶等特點。OLED顯示器仍然需要ITO膜層作為透明的電極。其基本結構是:首先在玻璃基板上鍍制ITO膜層,然后再制作有機材料發光層。由于OLED顯示是以電流驅動的,ITO膜層表面的微小突起會形成**電流異常,而影響顯示效果,因此必須除去ITO膜層表面的微小突起。目前主要的去除方法是在鍍制ITO膜層后,再采用特殊的膜層拋光技術,將ITO膜層表面的微小突起拋掉??梢哉fOLED用ITO導電玻璃聯合應用了ITO導電玻璃方面的鍍膜和拋光技術。

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